Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий
Р. К. Яфаров
В книге обозначены и насколько возможно полно раскрыты современные тенденции и подходы в разработке СВЧ плазмохимического оборудования и нанотехнологий на его основе. Излагаются математическая теория диффузионных процессов и основы теории плазмы газового разряда в магнитном поле, описаны применяемые методы решения стохастических дифференциальных уравнений и уравнений Фоккера-Планка-Колмогорова. Даны обобщение и системное изложение опыта и результатов по разработке физико-технических основ новых типов микроволновых плазменных устройств. Приведены результаты практического использования разработанных микроволновых источников плазмы. Материалы книги могут быть задействованы в учебном процессе в качестве спецкурсов или спецсеминаров для студентов вузов соответствующего профиля.
সাল:
2009
প্রকাশক:
Физматлит
ভাষা:
russian
পৃষ্ঠা:
216
ISBN 10:
5922111507
ISBN 13:
9785922111508
ফাইল:
PDF, 2.82 MB
IPFS:
,
russian, 2009